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          序號 特征 6吋參數 5吋參數
          1 外延層摻雜劑 N,N+:Antimony,Arsine,phosphorus N,N+:phosphorus,Arsine
          2
          外延層晶向 <100>,<111>
          <100>,<111>
          3
          外延層電阻率 0.5~120Ω?cm 0.5~120Ω?cm
          4 外延層電阻率中心值偏差 ≤±2% ≤±2%
          5 外延層電阻率均勻性 ≤±3%
          ≤±3%
          6 外延層厚度 3~150μm 3-150μm
          7 外延層厚度中心層偏差 ≤±1% ≤±1%
          8
          外延層厚度均勻性 ≤±3% ≤±3%
          9
          翹曲度/彎度 -60~60 -50~50
          10
          總厚度變化 ≤18 ≤10
          11 堆垛層錯 ≤5/cm2 ≤5/cm2
          12 滑移線 <5條,同時總長度≤硅片直徑的1/2 <5條,同時總長度≤硅片直徑的1/2
          13 NONE NONE
          14
          劃傷 NONE
          NONE
          15
          凹坑、桔皮、裂紋、鴉爪 NONE
          NONE
          16 崩邊 NONE
          NONE
          17 異物 NONE
          NONE
          18 背面沾污 NONE
          NONE
          19 點缺陷 NONE
          NONE
          • 電話:13705597336
            電話:13956270661
          • 黃山芯微電子股份有限公司
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