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拋光片外延片銅金屬化陶瓷片 DBC覆銅陶瓷板

序號

特征

4吋、5吋、6吋襯底參數

摻雜劑

N,N+:Antimony,Arsine,phosphorus

P,P+:Boron

晶向

<100>,<111>,<110>

電阻率

0.001～1.0～100～10000Ω?cm

電阻率均勻性

≤25%

厚度

150～5000μm

總厚度變化

≤5um

局部平整度

≤1.5um

翹曲度/彎度

≤35um

氧含量

8.0～18.0ppma

碳含量

＜1.0ppma

位錯/氧化層錯

＜100ea/cm²

滑移線

NONE

表面：霧、劃傷、凹坑、桔皮、裂紋、鴉爪、崩邊、沾污

NONE

背面：崩邊、劃傷、凹坑、裂紋

NONE

表面顆粒

≥0.2um的≤30um

≥0.5um的≤3um

≥0.3um的≤10um

表面金屬

≤5E10

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