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    序號 
   
   
    特征 
   
   
    4吋、5吋、6吋襯底參數 
   
  
          
  
          
   
    1
   
   
    摻雜劑
   
   
    
          
     N,N+:Antimony,Arsine,phosphorus
    
          
    
          
     P,P+:Boron
    
          
             		
  
          
  
          
   
    2
   
   
    晶向
   
   
    <100>,<111>,<110>
          
             		
  
          
  
          
   
    3
   
   
    電阻率
   
   
    0.001～1.0～100～10000Ω?cm
   
  
          
  
          
   
    4
   
   
    電阻率均勻性
   
   
    ≤25%
          
             		
  
          
  
          
   
    5
   
   
    厚度
   
   
    150～5000μm
   
  
          
  
          
   
    6
   
   
    總厚度變化
   
   
    ≤5um
   
  
          
  
          
   
    7
          
             		
   
    局部平整度
   
   
    ≤1.5um
   
  
          
  
          
   
    8
   
   
    翹曲度/彎度
   
   
    ≤35um
   
  
          
  
          
   
    9
   
   
    氧含量
   
   
    8.0～18.0ppma 
   
  
          
  
          
   
    10
   
   
    碳含量
   
   
    ＜1.0ppma
   
  
          
  
          
   
    11
   
   
    位錯/氧化層錯
   
   
    ＜100ea/cm2 
   
  
          
  
          
   
    12
   
   
    滑移線
   
   
    NONE
   
  
          
  
          
   
    13
   
   
    表面：霧、劃傷、凹坑、桔皮、裂紋、鴉爪、崩邊、沾污
          
             		
   
    NONE 
   
  
          
  
          
   
    14
   
   
    背面：崩邊、劃傷、凹坑、裂紋
   
   
    NONE
          
             		
  
          
  
          
   
    15
   
   
    表面顆粒
          
             		
   
    
          
     
          
      
       
          
        
         
          
          
          
         
          
                  		
       
          
                
     
          
    
          
    
          
     ≥0.2um的≤30um 
    
          
    
          
     ≥0.5um的≤3um 
    
          
    
          
     ≥0.3um的≤10um 
    
          
    
          
     
          
    
          
             		
  
          
  
          
   
    16
   
   
    表面金屬
   
   
    ≤5E10
          
             		
  
          
           

          

              
          

          


          
	
          
    	
            
        	
          • 電話:13705597336
            電話:13956270661
            • 
            
            
          • 黃山芯微電子股份有限公司
            地址：安徽省黃山市祁門縣新興路449號
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